【教研活動】【電漿所演講公告】「太空與電漿科學研究所」訂於12/13(三)18:00舉辦<電漿蝕刻於積體電路中的應用>電漿學分學程系列演講暨通識認證講座
電漿學分學程系列演講 暨 通識認證講座
電漿蝕刻於積體電路中的應用
A series of talks on interdisciplinary program in plasma: Plasma Etch Application in Integration Circuit
主講者:陳炳儒 工程師
服務單位:科林研發(Lam Research)
演講者學經歷:
科林研發
台灣應用材料
工研院
大綱:
(1) 積體電路之介紹:邏輯閘和記憶體
(2) 製程之介紹:薄膜/曝光/蝕刻/ CMP /佈植
(3) 電漿蝕刻之應用:蝕刻原理/不同蝕刻方式
通識認證講座線上報名
https://activity.ncku.edu.tw/index.php?c=apply&no=2700
我要申請電漿學分學程
-- 須先修過物理數學或相對應之數學課程及電磁學。
-- 理論基礎課程至少9學分(包含必修6學分及必選3學分)。
-- 進階應用課程至少6學分。
在追求產業升級的今日,基礎科學與應用科學或工程之間的聯結變得格外重要。電漿物理(plasma physics)在許多應用科學上(核融合、太空科技及生醫光電等)及工業上(半導體製程)都佔了非常重要的角色。本學程將以電漿科學為基礎,根植扎實的電漿物理知識,配合進階應用課程,深入了解電漿物理在不同產業的應用。讓學生不管朝學術或業界發展,都能兼具多元專業,更有競爭力。

